Positionierung im Vakuum

Verschiedenste Anwendungen in der Mikroskopie oder optischen Messtechnik erfordern die Positionierung einer Probe oder eines optischen Elements im Vakuum bis 10-11 hPa.

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(blechnews) - Verschiedenste Anwendungen in der Mikroskopie oder optischen Messtechnik erfordern die Positionierung einer Probe oder eines optischen Elements im Vakuum bis 10-11 hPa. PI miCos hat sich auf präzise Positioniersysteme unter besonderen Umgebungsbedingungen spezialisiert und bietet hierfür maßgeschneiderte Lösungen aus einem breitgefächerten technologischen Spektrum an.
Ein Ansatz stellen Positionierer mit Vakuumschrittmotoren dar – von einfachen Linear- oder Rotationseinheiten bis zu Hexapoden und Spacefabs, die eine sechsachsige Verstellung auf kleinstem Raum bei hohen Genauigkeiten von wenigen Mikrometern ermöglichen.

Zunehmend werden auch piezokeramische Aktoren und Motoren für den Einsatz im Vakuum eingesetzt. Aufgrund ihrer kompakten Bauform und hohen Dynamik eignen sie sich gut für kleine, schnelle lineare oder rotatorische Verstelleinheiten. Piezoelektrische Antriebe halten stromlos die Position, erzeugen dadurch keine Wärme und sind vakuumkompatibel bis ins UHV sowie für Magnetfeldanwendungen geeignet. Geschwindigkeiten bis zu 400 mm/s und Wiederholbarkeiten von kleiner 50 nm sind hiermit realisierbar.

Je nach Anwendung müssen neben der Vakuumkompatibilität oft zusätzliche Anforderungen erfüllt werden, wie Ausheizprozesse von über 100 °C oder die Positionierung in X-Ray- Umgebungen. PI miCos bietet auch hierfür wie auch für Anwendungen im Tieftemperaturbereich passende Produktentwicklungen.

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Die miCos GmbH wurde 1990 in Eschbach bei Freiburg gegründet und gehört heute als PI miCos zur leistungsfähigen Unternehmensgruppe der in Karlsruhe ansässigen Firma Physik Instrumente (PI). Mit aktuell über 50 Mitarbeitern entwickelt, fertigt und vertreibt das Breisgauer Unternehmen weltweit innovative Systeme und Komponenten für hochpräzise Positionieranwendungen. Einen Schwerpunkt bildet dabei die optische Messtechnik in Forschung und Industrie. Hierfür bietet PI miCos neben einem umfangreichen Standardprogramm auch kundenspezifische Systemlösungen mit mehreren Achsen an. Ein breitgefächertes Applikations-Know-how ist der Garant für die Umsetzung technisch anspruchsvoller Lösungen. Flexible Positioniersysteme für Ultrahochvakuum-Anwendungen liefern dafür ebenso ein Beispiel wie parallelkinematische Hexapoden mit sechs Freiheitsgraden mit linearmotorgetriebene Luftlagerachsen.

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PI miCos GmbH

Nicole Buselmeier
Sales & Support

PI miCos GmbH

Freiburger Straße 30
79427 Eschbach


Kathrin Mössinger
Marketing Referentin
Markt & Produkte

Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
Auf der Roemerstrasse 1
76228 Karlsruhe

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Datum: 17.02.2012 - 14:19
Sprache: Deutsch
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Firma: PI miCos GmbH
Ansprechpartner: Kathrin Mössinger
Stadt: Eschbach
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