Spektroskopisches Ellipsometer zur Messung aller 16 Müller Matrix Elemente

Um die Leistung unserer spektroskopischen Ellipsometer auf höchstem Level zu halten, ist SENTECH stets bestrebt, innovative Applikationen zu lösen. Die Messung der Müller Matrix ist jetzt mit der neuentwickelten 2C-Option für die spektroskopischen Ellipsometer SENresearch realisiert. Diese 2C-Option erlaubt die Messung der gesamten 16 Müller Matrix Elemente und das mit einer Genauigkeit von +/- 0.005. Diese clevere Option erweitert den Anwendungsbereich der SENresearch Ellipsometer insbesondere um anisotrope, depolarisierende sowie strukturierte Proben.

Die 2C-Option wird erstmals von der Physikalisch Technischen Bundesanstalt (PTB) in Braunschweig in einem spektroskopischen Ellipsometer zur Bestimmung der Müller Matrix genutzt. Anfang des Jahres 2014 erwarb Dr. Bernd Bodermann, Leiter der Arbeitsgruppe Höchstauflösende Mikroskopie der PTB, ein solches SENTECH Hochleistungs- Ellipsometer, um optische Konstanten verschiedener Materialien zu bestimmen und die Oberflächen strukturierter Proben zu analysieren.
Dr. Bodermann sagt über die Arbeit des SENTECH Ellipsometers: „Das SENresearch mit der 2C Option ergänzt und komplettiert sehr schön unsere bisherigen scatterometrischen und optisch-mikroskopischen Messsysteme. Unsere Messanforderungen können durch die positive Arbeitsweise des Gerätes sehr gut unterstützt und verbessert werden. Das neue Ellipsometer ermöglicht uns beispielsweise die Messung von künstlichen optischen Materialien, wie plasmonische Strukturen oder Metamaterialien. Auch können, durch die Nutzung spektroskopischer und vollständig polarimetrischer Messgrößen, Messunsicherheiten deutlich verringert werden.“ Wir freuen uns sehr über die lobenden Worte der PTB.

Weiterhin ermöglicht dieses innovative Ellipsometer die genaue Bestimmung von Brechungsindex, Absorption und Schichtdicke durch die Anwendung des Step Scan Analyzer (SSA) Prinzips. Ein motorisiertes Goniometer erlaubt die unabhängige Bewegung von Sender- und Empfängerarm, wodurch auch winkelabhängige Streumessungen zur Analyse von periodischen Strukturen durchgeführt werden können.

Das spektroskopische Ellipsometer mit 2C-Option zeichnet sich durch einen hohen Grad an Nutzerfreundlichkeit aus. Das komplette ellipsometrische Spektrum als auch nutzerdefinierte Messungen können durch nur einen Klick innerhalb von Sekunden ausgeführt und sichtbar gemacht werden. Wir freuen uns auf weitere positive Resonanz im Hinblick auf die neuentwickelte Option zur Messung der Müller Matrix für spektroskopische Ellipsometer.