Verschiedenste Anwendungen in der Mikroskopie oder optischen Messtechnik erfordern die Positionierung einer Probe oder eines optischen Elements im Vakuum bis 10-11 hPa. Verschiedenste Anwendungen in der Mikroskopie oder optischen Messtechnik erfordern die Positionierung einer Probe oder eines optischen Elements im Vakuum bis 10-11 hPa. PI miCos hat sich auf präzise Positioniersysteme unter besonderen Umgebungsbedingungen spezialisiert und bietet hierfür maßgeschneiderte Lösungen aus einem breitgefächerten technologischen Spektrum an.
Ein Ansatz stellen Positionierer mit Vakuumschrittmotoren dar – von einfachen Linear- oder Rotationseinheiten bis zu Hexapoden und Spacefabs, die eine sechsachsige Verstellung auf kleinstem Raum bei hohen Genauigkeiten von wenigen Mikrometern ermöglichen.
Zunehmend werden auch piezokeramische Aktoren und Motoren für den Einsatz im Vakuum eingesetzt. Aufgrund ihrer kompakten Bauform und hohen Dynamik eignen sie sich gut für kleine, schnelle lineare oder rotatorische Verstelleinheiten. Piezoelektrische Antriebe halten stromlos die Position, erzeugen dadurch keine Wärme und sind vakuumkompatibel bis ins UHV sowie für Magnetfeldanwendungen geeignet. Geschwindigkeiten bis zu 400 mm/s und Wiederholbarkeiten von kleiner 50 nm sind hiermit realisierbar.
Je nach Anwendung müssen neben der Vakuumkompatibilität oft zusätzliche Anforderungen erfüllt werden, wie Ausheizprozesse von über 100 °C oder die Positionierung in X-Ray- Umgebungen. PI miCos bietet auch hierfür wie auch für Anwendungen im Tieftemperaturbereich passende Produktentwicklungen.
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